【印聯傳媒資訊】根據外電報導,美國能源部旗下的布魯克海文國家實驗室研究人員,日前宣布成功采用電子束印刷技術,成功制造了尺寸只有 1 納米的印刷設備。 據了解,這個實驗室的研究人員采用電子顯微鏡,制造出比普通電子束印刷(EBL)技術能做出的更小尺寸。 這使電子敏感性材料在聚焦電子束的作用下,尺寸得以大大縮小,達到可操縱單個原子的程度。 而這項技術與設備的誕生,則可極大的改變材料特性,從導電變成光傳輸,或這兩種狀態下交互執行。
就目前發表的內容觀察,1 納米印刷使用的是掃描投射電子顯微鏡(STEM),隔開 11 納米,這樣一來每平方公厘就能實現 1 兆個特征點(features)的密度。 再透過偏差修正 STEM 在 5 納米半柵極在氫氧硅酸鹽類抗蝕劑下,實現 2 納米的分辨率。
雖然,這也不是科學家第一次達到 1 納米級別的技術,2016 年美國能源部下屬的另一個國家實驗室也宣布發展出 1 納米制程技術。 這部分使用的是納米碳管和二硫化鉬等新材料。 不過,不管是哪一邊開發出的新技術與設備,就目前觀察,這項技術都不會很快量產。 因為納米碳管晶體管跟 PMMA、電子束光刻一樣,跟目前的半導體制程技術有明顯差異。 因此,要讓廠商一下子全部淘汰現有設備,這還需要一段時間布局。
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